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芯片行業(yè)對無(wú)塵車(chē)間的環(huán)境與生產(chǎn)要求

 更新日期:2021-06-07 點(diǎn)擊量:2163

芯片行業(yè)對無(wú)塵車(chē)間的環(huán)境與生產(chǎn)要求

芯片價(jià)格飆漲5倍!從“買(mǎi)不到”到“買(mǎi)不起”!全球百余行業(yè)受沖擊...

今天,芯片價(jià)格爆漲的消息沖上了熱搜,缺芯片!芯片荒!這張多米諾骨牌,正在全球產(chǎn)業(yè)鏈上傳導。而每一張牌倒下,都引起新的連鎖反應。高盛一項新研究顯示:全球有多達169個(gè)行業(yè),在一定程度上受到芯片短缺影響,從汽車(chē)、鋼鐵產(chǎn)品、混凝土生產(chǎn)到空調制造,甚至包括肥皂生產(chǎn)。

“缺芯”的不止汽車(chē)行業(yè),如今,“芯片荒”的影響已經(jīng)蔓延至各類(lèi)企業(yè)。

近幾年時(shí)間,隨著(zhù)半導體制程技術(shù)的飛速發(fā)展,芯片線(xiàn)寬已經(jīng)進(jìn)入納米級,相應的產(chǎn)品對半導體產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的要求也越來(lái)越高,因此半導體凈化工程潔凈室內系統的運行狀態(tài)對硅芯片品質(zhì)和通過(guò)率的影響舉足輕重,凈化潔凈室的潔凈等級也須有一個(gè)*的標準,比如以Class10為例,意謂在單位立方英寸的潔凈室空間內,平均只有粒徑0.5微米以上的粉塵10粒。所以Class后頭數字越小,潔凈度越佳,當然其造價(jià)也越昂貴。

半導體凈化車(chē)間潔凈度等級標準及要求半導體特性決定其制造過(guò)程必須有潔凈度要求,環(huán)境中雜質(zhì)對半導體的特性有著(zhù)改變或破壞其性能的作用,而雜質(zhì)各式各樣,如金屬離子會(huì )破壞半導體器件的導電性能,塵埃粒子破壞半導體器件的表面結構等,所以在半導體器件生產(chǎn)過(guò)程中對什么都須嚴格控制。針對這個(gè)問(wèn)題,蘇州宏瑞凈化科技有限公司研發(fā)生產(chǎn)的潔凈環(huán)境在線(xiàn)監控系統便可以很好地解決,它可以即時(shí)檢測到單位體積空氣中的顆粒物數量,還能實(shí)現7*24實(shí)時(shí)遠程自動(dòng)監測,并以其快速、準確的特點(diǎn),在電子行業(yè)、制藥車(chē)間、半導體、光學(xué)或精密機械加工等潔凈室環(huán)境自動(dòng)監測系統中得到了廣泛的應用。

在半導體制造業(yè)中,由于其昂貴設備的敏感性和制造過(guò)程的復雜性,工廠(chǎng)的布局變得不可以輕易更改,初始的不合理布局結果會(huì )導致龐大的物料搬運成本、無(wú)效的生產(chǎn)以及重新布局時(shí)所需要的大量成本。特別是迅速發(fā)展的亞微米工藝對生產(chǎn)場(chǎng)所空氣潔凈度要求特別高,所有半導體制程設備都須安置在隔絕粉塵進(jìn)入的密閉空間中,這樣,工廠(chǎng)投產(chǎn)以后整體生產(chǎn)系統才能發(fā)揮大的生產(chǎn)效能。

國內曾統計過(guò),在無(wú)潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率10%~15%,64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業(yè)中應用潔凈室已相當普遍,潔凈室系統為整條生產(chǎn)線(xiàn)提供潔凈的環(huán)境,是硅芯片賴(lài)以生產(chǎn)加工基本的條件。為營(yíng)造潔凈室的環(huán)境,我們不僅需要賽納威研發(fā)生產(chǎn)的多通道遠程遙測激光塵埃粒子計數器及遠程監控系統來(lái)為用戶(hù)提供實(shí)時(shí)準確地遠程測量所監控環(huán)境的微粒數量和凈化等級,并根據不同需要增加或減少控制終端,實(shí)現7*24實(shí)時(shí)遠程自動(dòng)監測,通過(guò)RJ45網(wǎng)絡(luò )接口、WiFi、485(moudbus)等,將數據送給PC終端,顯示當前監測環(huán)境的潔凈狀況,還要根據建造廠(chǎng)家及其相關(guān)的技術(shù)與使用管理辦法來(lái)監督半導體工廠(chǎng)生產(chǎn)系統。

1、內部要保持大于一大氣壓的環(huán)境,以確保粉塵只出不進(jìn)。所以需要大型鼓風(fēng)機,將經(jīng)濾網(wǎng)的空氣源源不絕地打入潔凈室中。

2、為保持溫度與濕度的恒定,大型空調設備須搭配于前述之鼓風(fēng)加壓系統中。換言之,鼓風(fēng)機加壓多久,冷氣空調也開(kāi)多久。

3、所有氣流方向均由上往下為主,盡量減少突兀之室內空間設計或機臺擺放調配,使粉塵在潔凈室內回旋停滯的機會(huì )與時(shí)間減至低程度。

4、所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。

5、人事物進(jìn)出,都須經(jīng)過(guò)空氣吹浴 (air shower) 的程序,將表面粉塵先行去除。

6、人體及衣物的毛屑是一項主要粉塵來(lái)源,為此務(wù)必嚴格要求進(jìn)出使用人員穿戴無(wú)塵衣,除了眼睛部位外,均需與外界隔絕接觸 (在次微米制程技術(shù)的工廠(chǎng)內,工作人員幾乎穿戴得像航天員一樣。

7、除了空氣外,水的使用也只能限用去離子水 (DI water, de-ionized water)。一則防止水中粉粒污染晶圓,二則防止水中重金屬離子,如鉀、鈉離子污染金氧半 (MOS) 晶體管結構之帶電載子信道 (carrier channel),影響半導體組件的工作特性。去離子水以電阻率 (resistively) 來(lái)定義好壞,一般要求至17.5MΩ-cm以上才算合格;為此需動(dòng)用多重離子交換樹(shù)脂、RO逆滲透、與UV紫外線(xiàn)殺菌等重重關(guān)卡,才能放行使用。由于去離子水是佳的溶劑與清潔劑,其在半導體工業(yè)之使用量驚人!

8、潔凈室所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣 (98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮!

以上八點(diǎn)說(shuō)明是基本的要求,另還有污水處理、廢氣排放的環(huán)保問(wèn)題,再需要大筆的建造與維護費用,總而言之,半導體生產(chǎn)行業(yè)是高污染行業(yè),要嚴抓相關(guān)企業(yè)的污染治理,潔凈室的使用在半導體芯片等行業(yè)是*的!

蘇州宏瑞凈化科技有限公司作為自主研發(fā)生產(chǎn)30年的潔凈環(huán)境檢測儀器生產(chǎn)廠(chǎng)家,可不同潔凈室無(wú)塵車(chē)間的要求及國家GMP規范要求為微電子、生物醫藥、醫院手術(shù)室、光纖光纜、食品飲料、精密儀器、半導體及新材料應用等行業(yè)提供全系列的檢測儀器和技術(shù)支持,如動(dòng)態(tài)監測時(shí)所需的潔凈環(huán)境在線(xiàn)監測系統”,靜態(tài)檢測時(shí)的“風(fēng)量罩”“壓差儀”“塵埃粒子計數器”“浮游菌采樣器”等。

 

 

蘇州宏瑞凈化科技有限公司(www.kyjstb.com)主營(yíng):潔凈室檢測設備

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